Fizeau是*灵活的干涉仪,可以使用非接触配置来测量平坦和球形表面。它的参考光路和测量光路是相同的,因此这是一个紧凑的抗振系统。Fizeau干涉仪在某种程度上类似于Fabry-Perot干涉仪,因为两者都由两个反射面组成。但是,在菲索(Fizeau)干涉仪中,**表面通常是全反射的。倾斜的分束器捕获参考光束和测量光束。
Holmarc Fizeau干涉仪具有开放式和垂直式配置。适用于平面和球形表面的常规测量。DPSS激光用作光源。垂直方向的光学布局使测试组件的放置变得容易。条纹由CCD相机捕获并由计算机分析。该设备可用于制造中光学器件的质量控制以及实验室的常规检查。
包含的组件
DPSS激光源532nm(5 mW),
空间过滤器组件
分束器
带支架的准直透镜
带底座的参考平面
测试平板安装
带有CCD等的变焦镜头
图。Fizeo干涉仪示意图