Fizeau干涉仪是*简单，用途*广泛的干涉仪之一，在平面和球形表面的常规测量中很受欢迎。它用于测量光学组件，例如平板，棱镜，透镜，或精密金属零件，例如轴承，密封面或抛光陶瓷。可以使用静态条纹分析软件进行测量。干涉仪基本上带有高光学质量（λ/ 20）参考平面。测试表面的反射会干扰参考平面产生的条纹的反射。条纹的形状和质量取决于测试平板的表面质量。使用高分辨率CCD相机对条纹进行数字化处理。
光学设置
空间滤光片组件和正消色差透镜用于扩展和准直He-Ne激光。在准直透镜之后，固定参考平面。光线从参考平面反射回去。立方体分束器放置在扩束器附近，该反射镜将反射的光反射到变焦镜头和CCD。该反射的一部分落在用于对准模式的照相机1上。来自测试样品的反射光也会回溯相同的路径并产生干扰。