MM214是Holmarc的一系列创xin新测量显微镜,专为工业和科学测量而设计。这些显微镜旨在提供*大的测量精度。它可用于测量以及检查微型零件和样本,这些微型零件和样本太小而无法在没有显微镜的帮助下进行测量。该仪器可测量半导体,小型电子和电气元件,生物样本,微机电系统(MEM),微型机械零件,微型模制物品等。显微镜具有长工作距离物镜,目镜装有参考十字线,精度高XY测量平台,安装在X,Y和Z平台上的光学线性标尺,数字读出(DRO)和物体照明系统。
X,Y和Z阶段
三个线性平台均具有精密滚动轴承,以确保直线精度和测量的可重复性。这些平台装有分辨率为1微米的光学编码器。
XY载物台带有丝杠驱动器,可通过旋钮进行精细和超精细的运动。这两个平台都有离合器机构,可将丝杠与平台分离,从而快速定位。舞台有玻璃顶部,可以照亮底部。X平台的行程为200毫米,Y平台的行程为150毫米。Z轴由齿条和小齿轮通过两侧都装有旋钮的驱动,右侧带有精细的定位机构。光学头安装在Z平台上。可以通过重复关注感兴趣的点来进行垂直测量。
物体照明
共有三种照明类型可供选择:同轴照明,底部照明和倾斜照明。在所有这些情况下,高亮度LED均可用作光源,以实现长寿命和凉爽的照明。
数字读出
符合人体工程学的视线位置的垂直列装有1微米分辨率的数字读数。读数具有大的LED显示屏和各种可编程功能,例如误差补偿,校准等。