带有集成注射器泵的Holmarc旋涂装置,型号:HO-TH-05S是专用台式系统,用于在旋压工艺参数得到良好控制的研究实验室中旋涂小基材。高速和持续时间范围允许用户获得所需的薄膜厚度或厚度。旋转头执行器是一种精密的直流伺服电机,需要较少的维护,并具有精que的速度和加速度控制。由无油真空泵驱动的真空吸盘将基材固定在旋转头上。HO-TH-05S带有集成的注射泵,可以在纺纱过程的开始或过程中自动将精que确体积的溶液分配到基质上。泵通过硅胶管连接到旋转碗。
该设备具有用户友好的前面板,该面板具有用于编程旋转过程的键盘和LCD。旋转持续时间,旋转速度,加速度等都是可通过前面板进行编程的参数。由于程序存储器是非易失性的,因此在断电时不会丢失所记录的参数。该模型配备有9个预设的可编辑程序的存储器,每个程序有9个步骤。
旋涂在有机电子,纳米技术,半导体工业和其他工业领域无处不在。
旋涂广泛用于使用溶胶-凝胶前驱体在玻璃或单晶基板上的功能性氧化物层的微细加工,可用于制造具有纳米级厚度的均匀薄膜。它广泛用于光刻中,以沉积约1微米厚的光刻胶层。