Holmarc设计了具有高精度组件的多功能4“基板UV激光写入器,专门设计用于为用户提供*大的自由度,使其可以在光敏层中创建微结构。
系统支持高达4096级的灰度等级,支持3D光学结构,表面结构以及蒙版项目,使该系统成为用于研发的理想Litho工具。