Holmarc的紫外线臭氧清洁剂旨在在环境温度和增强模式下从样品表面去除薄薄的污染物层。它基本上是一种使用干法处理的光敏氧化方法。源低压汞灯产生UVC系列光谱，尤其是184.9和253.7nm的光谱线充当臭氧的产生者和an灭者，臭氧也用于激发有机分子。总体而言，它具有易于使用的设置和程序，可在预清洁后产生*佳效果。无需任何预清洁，它就能对厚的光刻胶，纯碳膜和石英衬底产生*佳效果。
紫外线灯类型 ： 高臭氧紫外线灯 紫外线灯供应 ： 4000 V，30 mA 电源输入 ： 230V，50Hz *大基板尺寸 ： 150毫米x 150毫米 持续时间 ： 1-99秒/分钟/小时 施工 ： 不锈钢 样品进料 ： 基于幻灯片
氧气入口
臭氧去除泵
LCD显示单元
样品温度测量功能
蜂鸣器，指示清洁完成
锁定功能可锁定进样盘，避免在操作过程中打开
瓦数：72W（在345 x 250尺寸的腔室中9个8 W灯管）
**特性
Holmarc的紫外线臭氧清洁器配有非常合适的铝制腔室，该腔室封闭并阻挡了来自汞源的有害UVC辐射。靠近红色标志紧急停止开关的冲洗按钮借助鼓风机和附加软管帮助从托盘室中排出所有残留的臭氧并排出气体。为了避免金属样品表面变暗的影响，我们建议在紫外线臭氧清洁剂下使用较短的时间。
应用领域
在薄膜沉积之前进行基板清洁，制造用于时钟和频率控制的需要超清洁表面的石英晶体谐振器，在超高真空下以非零力对金属进xing气密密封，制造护目镜，清洁镜片，镜子，太阳能电池板，拆卸光刻胶，光掩模，硅片等