薄膜光谱反射仪是用于工业和研究中的薄膜厚度分析的基本仪器。Holmarc的TFSR模型号：HO-ED-TH- 04能够以高速和可重复性分析薄膜的厚度，复折射率和表面粗糙度。TFSR理论使用菲涅尔方程的复杂矩阵形式来实现反射率和透射率。优良反射光谱是Reflectometer的原理。这是反射光束的强度（通常是单色的）与入射光束的强度之比。
膜厚范围：25 nm-1μm 反射波长范围：400 nm-900 nm 透光率/吸光度范围：0-100％ 光源：50W钨卤素石英灯 探测器：CCD线性阵列，3648像素 光谱仪：Spectra CDS 215 光谱仪波长范围：VIS-NIR
标准样品：NSF-66基材上的SiO2薄膜
在NSF-66上通常用于SiO2的精度：±5 nm 相同样品的精度：±10 nm 光功率：20 W 光斑尺寸：1毫米 样品上的斑点尺寸：5 mm 材料库：可扩展的材料用户库 PC接口：RS232 / USB 标准样品：NSF-66基材上的SiO2薄膜 参考样品：钇和裸铝增强银 测量模式：曲线拟合/回归算法，FFT，FFT +曲线拟合
特征