二合一镀膜机：等离子溅射和碳蒸发

• 等离子溅射：
• *高1600VDC和  50mA
• 蒸发：  10VAC和*大。电流20A（用于钨丝篮）。

• 熔融玻璃管，直径160 mm。x 120mm高度

• 包括两个涂布头： 
• 直流溅射头（2英寸靶材）（图1）
• 通过钨丝篮进行热蒸发（图2）

       Pic.1                          照片。2   

• 一枚50毫米直径 样品台 
• *高 涂层面积：直径45 mm
• 包括蒸发夹具，用于涂覆轻质金属材料，例如Al，Li，Mg

• 带有皮拉尼真空计和蒸汽疏水阀的双级旋转叶片真空泵（外部）   消除了其中包含的油雾，油雾的真空度可达10-2托
• 随附一个电磁阀，用于自动排气。
  
• 为了获得更好的碳蒸发，  建议使用分子泵，如右图所示，额外费用， 可达到10-5托的真空度

             

   

• 一个  金靶：直径50毫米。x 0.12毫米，包括1个。  
• 提供可选目标 （单击下面的按钮进行订购）
• 随附一根3英尺的碳纤维（纱线）用于碳蒸发（不能使用碳棒进行碳涂层）
• 请点击此处查看推荐的涂层参数。 

长300mm x宽400mm x高400mm

• CE认证
• 可根据要求提供NRTL或CSA认证，但需要额外收费，请联系我们的销售代表以获取报价。 

• MTI Corp.与我们的客户共享***的溅射镀膜技术，请单击下面的图片以阅读文章“  等离子溅射镀膜”。
• 该系统需要一个不带压力调节器的Ar气罐