具有三个溅射源和RF / DC电源的等离子溅射镀膜机-

• 单相220 VAC 50/60 Hz
• 2000 W（包括真空泵和冷水机）

• 三个溅射电源集成到一个控制箱中（单击下面的图片查看详细规格）
• 直流电源：500 W功率，用于涂覆金属材料（图1）
• 射频源：功率为300 W，频率为13.56 MHz，用于涂覆非导电材料（图片2）

          -图片1-            图片2     

磁控溅射头

• 包括三个带水冷套和百叶窗的2英寸  磁控溅射头（单击左侧**个图片）
• 目标尺寸要求：2英寸直径
• 厚度范围：对于金属靶和非导电靶（包括垫板），厚度范围为0.1-5 mm
• 包括一个不锈钢靶  和一个研究级Al2O3靶 用于演示测试
• 可根据要求提供可选的2英寸溅射靶（或垫板），但需额外付费。
• 推荐的溅射配方和有用的技巧
• 定制涂布机：两个DC-一个RF；2个RF-1个DC；三直流；三个射频（请从产品选项中选择）
• 可选： 可以订购148厘米的RF电缆，但需要支付额外的费用才能进行更换（请从右向右依次单击**张照片）

             

    

真空室

• 真空室：直径300毫米 x 300毫米高度，由不锈钢制成
• 视口：两片100毫米直径。玻璃。一个固定；一根可拆卸的清洁和更换件
• 带有气动杆的铰接式盖 使目标易于更换

样品台

• 样品架是由带铜盖的陶瓷加热器制成的可旋转且可加热的载物台
• 样品架尺寸：直径140毫米。对于。*大4“晶圆
• 旋转速度：1-20 rpm可调，均匀涂层
• 支架温度可通过数字温度控制器在RT至*大500°C（*大2 hr）范围内调节，精度为+/- 1.0°C

气体流量控制

• 安装了两个精密质量流量控制器（MFC），以允许两种气体进入
  
• 流速：0 – 200 mL / min和0 – 100ml / min在触摸屏控制面板上可调
• 安装了进气阀以释放真空

• 包括一个移动泵站。溅射涂布机可以放在工作站的顶部
• 速度为80L / S的高速涡轮泵   与两级机械泵（220 L / min）相结合，可实现*大真空度和更快的抽速
• 与腔室相连的标准真空度：<4.0E-5托。
• 可选，需额外付费
• 如果选择  150L / S的高速涡轮泵，真空室的真空度可达10-6托。 
• 对于高达10 ^ -7托的超高真空，需要700S / L涡轮泵 
•  150L / S高速涡轮泵  70 0L / S高速涡轮泵         

• 包括一台数字温度控制的  循环水冷却器  。 （点击图片查看详情）
• 制冷范围：5〜35°C
• 流量：16 L / min
• 泵压力：14 psi

• **的石英膜厚度监测器  是可选的，它可以放入腔室中以0.10Å的精度监测涂层厚度
• 精密  薄膜和涂层分析系统-EQ-TFMS-LD  需额外付费
• 可根据要求提供各种2“氧化物和金属靶材，但需要额外付费。可以在MTI订购环氧银和铜背板

             

外形尺寸

                                        
          盖子关闭：48“  ×28”  ×32“盖子打开：  48”  ×28“×37”

涂布机净重

• 160公斤

运输重量和尺寸

• 总共3个托盘
• 365磅，48英寸x 40英寸x 45英寸
  
• 390磅，48英寸x 40英寸x 49英寸
  
• 210磅，48英寸x 40英寸x 30英寸
  

合规

• CE认证
• 可根据要求提供NRTL认证，但需要额外收费，请联系我们的销售代表以获取报价。

保证

• 一年有限保修，提供终身支持

操作指令

应用说明