膜机DC / RF双头高真空2英寸磁控等离子体溅射镀膜机

• 单相220 VAC 50/60 Hz
• 2000 W（包括真空泵和冷水机）

• 两个溅射电源集成在一个控制箱中（单击下面的图片查看详细规格）
• 直流电源：500 W功率，用于涂覆金属材料（图1）
• 射频源：功率为300 W，频率为13.56 MHz，用于涂覆非导电材料（图片2）

          -图片1-            图片2     

磁控溅射头

• 包括两个带有水冷套和百叶窗的2英寸  磁控溅射头（单击左图1st图片。
• 此产品页面上也提供一个溅射头型号（在产品选件中）
• 一个连接到  直流电源以涂覆金属材料
• 另一个连接到非导电材料的RF源
• 目标尺寸要求：2英寸直径
• 厚度范围：金属和非导电目标（包括垫板）的厚度范围均为0.1-5 mm
• 包括一个不锈钢靶和一个研究级Al2O3靶 用于演示测试
• 可根据要求提供可选的2英寸溅射靶（或垫板），但需额外付费。
• 推荐的溅射配方和有用的技巧
• 定制涂布机：两个无射频DC头；两个不带DC的RF头；可根据要求提供3个RF头
• 可选： 可以订购148厘米的RF电缆，以进行更换（需额外付费）（从右向右依次单击**张照片）

             

      

真空室

• 真空室：直径300毫米 x 300毫米高度，由不锈钢制成
• 视口：两片100毫米直径。玻璃。一个固定；一根可拆卸的清洁和更换件
• 带有气动杆的铰接式盖 使目标易于更换

样品台

• 样品架是由带铜盖的陶瓷加热器制成的可旋转且可加热的载物台
• 样品架尺寸：直径140毫米。对于。*大4“晶圆
• 旋转速度：1-20 rpm可调，均匀涂层
• 支架温度可通过数字温度控制器在RT至*大500°C（*大2 hr）范围内调节，精度为+/- 1.0°C

气体流量控制

• 安装了两个精密质量流量控制器（MFC），以允许两种气体进入 
• 流速：0 – 200 mL / min在触摸屏控制面板上可调
• 安装了进气阀以释放真空

• 包括一个移动泵站。溅射涂布机可以放在工作站的顶部
• 速度为80L / S的高速涡轮泵  与两级机械泵（220 L / min）相结合，可实现*大真空度和更快的抽速
• 与腔室相连的标准真空度：<4.0E-5托。
• 可选，需额外付费
• 如果选择150L / S高速涡轮泵，则带腔的真空度可达到10-6托（烘烤时为6x10-7托）
• 对于高达10 ^ -7托的超高真空，除涡轮泵外还需要吸气泵（100L / s H2＆O2）。请咨询我们的工程师以进行详细的自定义。
•  150L / S高速涡轮泵  吸气泵         

• 包括一台数字温度控制的  循环水冷却器  。 （点击图片查看详情）
• 制冷范围：5〜35°C
• 流量：16 L / min
• 泵压力：14 psi

• **的石英膜厚度监测器  是可选的，它可以放入腔室中以0.10Å的精度监测涂层厚度
• 精密  薄膜和涂层分析系统-EQ-TFMS-LD  需额外付费
• 可根据要求提供各种2“氧化物和金属靶材，但需要额外付费。可以在MTI订购环氧银和铜背板

             

外形尺寸

                                        
          盖子关闭：48“  ×28”  ×32“盖子打开：  48”  ×28“×37”

涂布机净重

• 160公斤

运输重量和尺寸

• 总共2个托盘
• ＃1：520磅，52英寸x 40英寸x 50英寸
• ＃2：420磅，48英寸x 40英寸x 45英寸

合规

• CE认证
• 可应要求提供MET认证（UL 1450），但需要额外收费，请联系我们的销售代表以获取报价。 

保证

• 一年有限保修，提供终身支持

操作指令

 应用笔记Pic 1 Pic 2        
   
              

•  为了**使用，应在气瓶上安装两级压力调节器（不包括），以将气体输出压力限制在0.02 MPa 以下。
• 为了从腔室中除去氧气，MTI建议  您使用5％的氢气+ 95％的氮气清洁腔室2-3次，这可以将氧气含量降低至<10 ppm
• 请使用> 5N纯度的氩气进行等离子体溅射。即使5N纯度的Ar，根据供应商的不同，通常也包含10-100 ppm的氧气和H2O。MTI建议您 在填充之前使用  气体净化设备净化气体。（单击左侧的Pic＃1＆＃2进行订购）
• 为了获得*佳性能，非导电靶必须安装有铜垫板。请参考下面的指导视频进行目标绑定  （点击下面的图片＃3）
• MTI提供从A到Z的单晶衬底（单击下面的图片＃4进行订购） 
• MTI溅射镀膜机已 在500°C的Al ₂ O ₃ 衬底上成功涂覆了ZnO （下图5中的XRD曲线）
• 高压！溅射头连接到高电压。为了**起见，操作人员必须在样品加载和目标改变操作之前关闭RF / DC发生器
• 请勿在冷水机中使用自来水。与水一起使用冷却液，去离子水，蒸馏水或抗腐蚀添加剂

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