3头紧凑型1英寸射频等离子体磁控溅射镀膜机，带直流磁控选件

• 单相220 VAC，50/60 Hz
• 1000 W（包括真空泵和冷水机）
• 如果电压为110 V，则可以在MTI订购1500 W的变压器（单击左图以了解详细信息）

• 包括具有手动匹配功能的13.5 MHz，100 W RF发生器并将其连接到溅射头
• 连续工作时间：
• 100W：≤1小时
• 80W：  ≤1.5小时
• 70W：  ≤2小时
• 60W：  ≤4小时
• 50W：  ≤8小时
• 负载范围：0 – 80Ω可调。调整范围：-200j – 200j可调
• 可旋转开关可以一次激活一个溅射头。溅射头可以在“等离子”中切换（在多层工艺中不会破坏真空和等离子）
• 借助直流电源，可以轻松地将涂布机更改为用于金属膜沉积的1英寸直流溅射源，从而实现三种直流，一个射频/两个直流和两个射频/一个直流溅射头配置  （左下图。请从产品选项）
• 可选配300 W自动匹配RF发生器（需额外付费）（单击右下图以获取详细信息）

500 W直流电源	300 W射频电源

磁控溅射头

• 包括三个带水冷套的1“磁控溅射头（单击Pic＃1了解详细信息），并通过快速夹具插入石英腔
• 可以在MTI购买更换射频电缆（有关详细信息，请单击图片＃2 ）
• 法兰上装有一个手动操作的百叶窗（请参阅图3）    
• 包括一个10 L / min的数控循环水冷却器，用于冷却溅射头（单击Pic＃4  了解详细信息）

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溅射靶

• 目标尺寸要求：1英寸直径x 1/8英寸*大厚度
• 溅射距离范围：50 – 80 mm可调
• 溅射角度范围：0 – 25°可调 
• 包括1“直径的铜靶和Al ₂ O ₃  靶，用于演示测试
• 可应要求提供各种氧化物的1“溅射靶材，但需额外付费
• 对于目标键合，包括1毫米和2毫米的铜垫板。可以在MTI订购环氧银（Pic＃1）和额外的铜垫板（Pic＃2）

  1个	2

• 真空室：外径256毫米x内径238毫米x高度276毫米，由高纯度石英制成
• 密封法兰：直径274 mm。铝制成，带有高温硅胶O形圈
• 随附不锈钢屏蔽罩，可100％屏蔽来自腔室的RF辐射
• *大真空度：1.0E-5 Torr，带有可选的涡轮泵和腔室烘烤 

样品架

• 样品架是一个可旋转且可加热的载物台，由带有不锈钢盖的陶瓷加热器制成
• 样品架尺寸：直径50 mm。对于。*大2英寸晶圆（请参见下图）
• 旋转速度：1-10 rpm可调，均匀涂层
• 支架温度可通过数字温度控制器在RT至*大600°C（600°C下*大5 min; 500°C下*大2 hr）范围内调节，精度为+/- 1.0°C

• 内置KF40真空端口，用于连接真空泵。
• 真空度：1.0E-2 Torr，包括双级机械泵（单击左图）
• 1.0E-5 Torr，带有可选的涡轮泵   （点击下图）

           

• 精密石英厚度传感器是可选的（有关详细信息，请单击Pic＃1）。它可以内置在腔室中，以0.1Å的精度监控涂层厚度（需要水冷） 
• 易于通过USB连接到PC进行远程厚度和涂层速度监控
• 包括5个石英传感器（消耗性） 
• 温度控制器的远程PC控制是可选的（有关详细信息，请单击Pic＃2 ）
• 易于通过USB连接到PC进行远程温度控制
• 包括温度控制软件。该模块与LabView兼容
• 对于直流磁控溅射，建议使用涡轮泵（图3）
• N ₂或O _2的反应溅射可通过可选的气体混合控制站获得（有关详细信息，请单击Pic＃4 ）

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尺寸

• 540毫米长x 540毫米宽x 1000毫米高

净重

• 60公斤

合规

• CE认证
• 可应要求提供MET认证（UL 1450），但需要额外收费，请联系我们的销售代表以获取报价。 

保证 

• 一年有限保修，提供终身支持 

操作指令

应用须知
  

• 这款紧凑的1英寸RF磁控管溅射镀膜机设计用于在通常不需要高真空设置的氧化物单晶衬底上涂覆氧化物薄膜
• 为了**使用，应在气瓶上安装两级压力调节器（不包括），以将气体的输出压力限制在0.02 MPa以下。请使用> 5N纯度的Ar气体进行等离子溅射
• 为了获得*佳的薄膜与基材的粘合强度，  请  在涂覆前清洁基材表面  ：
• 用以下连续浴进行超声波清洗（单击Pic＃1进行订购）-（1）丙酮，（2）异丙醇-除去油和油脂。用氮气吹干基材，然后在真空中热烘烤以除去吸收的水分
• 表面粗糙化，表面化学键活化或其他污染物去除可能需要等离子清洁（单击Pic＃2进行订购）
• 可以使用诸如Cr，Ti，Mo，Ta之类的薄缓冲层（〜5 nm）来提高金属和合金的附着力

• 为了获得*佳性能，非导电靶必须安装有铜垫板。请参阅以下说明视频（＃3）了解目标绑定
• MTI提供从A到Z的单晶衬底（单击Pic＃4进行订购） 
• MTI RF等离子溅射镀膜机已成功在500°C的Al ₂ O ₃衬底上涂覆ZnO （图5中的XRD曲线）
• 用EQ-MBT-12-LD心轴弯曲测试仪测试薄膜/涂层电*的柔韧性  。（有关详细信息，请单击Pic.6。）
• 高压！溅射头连接到高电压。为了**起见，操作人员必须在样品加载和目标改变操作之前关闭RF发生器。
• 请勿在冷水机中使用自来水。与水一起使用冷却液，去离子水，蒸馏水或抗腐蚀添加剂

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