大功率直流磁控溅射镀膜机，带旋转台世联博研（北京）科技有限公司

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产品名称：大功率直流磁控溅射镀膜机，带旋转台
产品型号：VTC-16-SM
产品展商：MTI
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简单介绍

VTC-16-SM是一种高功率台式磁控等离子体溅射镀膜机，具有 2英寸水冷靶头，水冷却器和可旋转的样品架。镀膜单元设计用于镀膜所有直径达4英寸的晶片（包括Zn，Al）的金属膜，钛和碳轻质薄膜，价格合理。包括一个铝目标，可立即使用。

产品描述

VTC-16-SM是一种高功率 台式磁控等离子体溅射镀膜机，具有 2英寸水冷靶头，水冷却器和可旋转的样品架。镀膜单元设计用于镀膜所有直径达4英寸的晶片（包括Zn，Al）的金属膜，钛和碳轻质薄膜，价格合理。包括一个铝目标，可立即使用。（自2015年5月18日起，该产品不再随附标准包装的真空泵。）

规格书

输入电压	220伏交流50 / 60Hz 使用1000 W变压器（15 A保险丝）可提供110 V电源。变压器另售。
输出功率	1600伏直流电 250瓦 *大150 mA 内置过电流保护（> 150 mA）
标本室	石英玻璃管，外径165 mm。X 150毫米ID x 250毫米高度请单击此处订购石英腔室更换件。
溅射头和标本台	包括带有水冷套的2英寸柔性磁控溅射头（图1）一个直径为50 mm的不锈钢样品台可旋转0-5 RPM 一个手动操作的百叶窗用于目标保护。（图2）溅射头支架可用于在不操作时固定溅射头。溅射头与样品台之间的距离可在60-100 mm之间调节。大涂层面积：大直径为4英寸包括一台 10 L / min流量的冷空气循环水冷却器，用于冷却溅射头。（图6） 1. 2. 3. 4. 5. 6。
控制面板	6英寸彩色触摸屏控制面板，带PLC集成，易于操作一个用于所有参数监视和控制的面板：真空，电流。
*限真空压力	内置KF25真空端口该系统需要带有压力调节器的Ar气罐。（不包含） <1.0E-2 Torr由叶片真空泵（不包括）提供，用于Au，Ag，Pt，Cu，Mo目标（对空气不敏感）涡轮分子泵的不大于 1.0E-5 Torr （不包括），用于Al，Mg，Li，Lr，Ti，Zn靶（对空气敏感）抽真空过夜并烘烤，*低真空度可达到<4.0E-6 Torr
气体气氛	安装了一个针阀以允许Ar气体进入以获得更好的等离子涂层系统需要带有压力调节器的Ar气罐（不包括在内）
目标	包括一个2英寸铜靶进行测试，靶尺寸：2英寸直径x 2.5毫米。它也可以涂覆几乎每种金属材料的Ag，Al，Cr，Ni，Pt，Ti，Sn，Li，Mg 等。警告：本机可以涂覆铝，铬或镍靶，但在使用前请查看推荐的涂覆方法。请使用RF等离子磁控溅射法涂覆氧化铝
可选的膜厚监测仪	膜厚监控器是可选的，但需额外付费（有关详细信息，请单击图1。有关图像，请参见图2,3,4）可根据要求提供高达500 °C 的可加热样品台，需要额外付费可根据要求提供用于**控制进气的流量计，但需要额外付费。 1. 2. 3. 4
外形尺寸	长440毫米×宽330毫米×高290毫米
净重	20公斤
运输重量和尺寸	160磅 45英寸x 45英寸x 40英寸
操作说明
合规	CE认证 NRTL认证暂时不可用。
保证	一年有限，终身支持
应用须知	警告：溅射头连接到高电压。操作人员在操作过程中必须戴手套在涂覆之前，请确保靶，溅射头，基材和加热台是干净的，每次使用时都需要使用砂纸和酒精清洁和清洁铝或镍靶。

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