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服务电话： 010-67529703
主营产品： Flexcell细胞力学和regenhu细胞3D生物打印机销售技术服务： 美国Flexcell品牌FX-5000T细胞牵张应力加载培养系统，FX-5K细胞显微牵张应力加载培养系统，Tissue Train三维细胞组织培养与测试系统，FX-5000C三维细胞组织压应力加载培养系统，STR-4000细胞流体剪切应力加载培养系统，德国cellastix品牌Optical Stretcher高通量单细胞牵引应变与分析系统 Regenhu品牌3D discovery细胞友好型3D生物打印机,piuma细胞纳米压痕测试分析、aresis多点力学测试光镊，MagneTherm细胞肿瘤电磁热疗测试分析系统
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3个旋转靶等离子溅射镀膜机，包括3个靶

  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：3个旋转靶等离子溅射镀膜机，包括3个靶
  • 产品型号：-VTC-16-3HD-LD
  • 产品展商：MTI
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍

VTC-16-3HD-LD是CE认证的紧凑型三旋转靶等离子体溅射镀膜机，带有触摸屏数字控制器和可加热至500 ° C 的基板加热器 。它可以涂覆1-3种金属材料以进行采样直径*大为50毫米。包括三个溅射靶：金，银，铜，可立即使用。

产品描述

VTC-16-3HD-LD是CE认证的紧凑型三旋转靶等离子体溅射镀膜机，带有触摸屏数字控制器和可加热至500 ° C 的基板加热器  。它可以涂覆1-3种金属材料以进行采样直径*大为50毫米。包括三个溅射靶：金，银，铜，可立即使用。（ü pdated上月，21，2015年：加入屏蔽/不带泵）

规格：
输入功率
  • 单相220 VAC，50 / 60Hz
  • 700 W（包括真空泵）
  • 对于使用110 VAC，我们将为您提供一个变压器。请在产品选项中选择电压
输出功率
  • 1600伏直流电
  • *大40 mA
真空室
  • 真空室：内径150毫米x外径165毫米x高150毫米，由高纯度石英制成
  • 密封法兰由带平O形圈的不锈钢制成
  • 请单击此处订购石英腔室更换件。
带加热器的样品台
  • 载物台尺寸：直径50毫米
  • 溅射距离范围：25 – 40 mm可调
  • 具有三个溅射位置的可旋转平台（由触摸屏控制）
  • 可选的基板加热器  的*高加热温度为500°C
  • 触摸屏集成了精度为+/- 1°C的PID温度控制器
控制面板
  • 6英寸彩色触摸屏，带PLC集成，易于操作
  • 真空计，溅射电流计和基板温度控制已集成到  触摸屏面板
  • 前面板上的调节旋钮，用于控制进气和溅射电流
  • 可从触摸屏访问溅射位置，溅射计时器和过程记录
屏蔽
  •  随附不锈钢  屏蔽罩，可提供额外保护
溅射靶
  • 目标尺寸要求：直径47毫米。x 2.5毫米以下
  • 标准包装中包含三个目标，可立即使用：
    • 金靶，直径47毫米 x  0.12毫米 
    • 银靶，直径47毫米 x 0.5  毫米 
    • 铜靶，直径47毫米 x 2.5毫米
    • 请单击此处以查看建议的Au和Cu靶涂层参数
  •  可在MTI订购各种目标
真空泵
（可选）


  • 内置KF25真空端口，用于连接真空泵（图1）
  • 需要带有KF25连接器的真空泵，但不包括在内。用户可以选择
    • 真空  度高达1.0E-2 Torr 的  双级真空泵（请单击Pic＃2订购）
    • 或 用于高达1.0E-5 Torr真空的  涡轮泵（单击Pic＃3进行订购）
  • 可以将真空泵插入涂布机左侧的电源插座中以进行自动控制               
    尺寸图
 
  •     440毫米长  ×  330毫米宽  ×455  毫米高
净重
  • 50公斤
操作说明
             
合规
  • CE认证
  • NRTL认证不是暂时可用的。
保证
  • 一年有限，终身支持
应用须知
  • 为了获得*佳的薄膜与基材的粘合强度，  请  在涂覆前清洁基材表面  ：
    • 使用以下连续浴进行超声波清洗（点击以下图片订购）-（1）丙酮，（2）异丙醇-去除油脂。用氮气吹干基材，然后在真空中热烘烤以除去吸收的水分
    • 表面粗糙化，表面化学键活化或其他污染物去除可能需要等离子清洁（单击下面的图片订购）
    • 可以使用诸如Cr，Ti，Mo，Ta之类的薄缓冲层（〜5 nm）来提高金属和合金的附着力
  • 为了**使用，应在气瓶上安装两级压力调节器（不包括），以将气体的输出压力限制在0.02 MPa以下。 请使用> 5N纯度的Ar气体进行等离子溅射
  • 高压！溅射头连接到高电压。为了**起见，操作人员必须在样品加载和目标改变操作之前关闭设备
  • 由于能量低，该型号不适用于涂覆轻金属材料，例如Al，Mg，Zn，Ni等。请考虑使用我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。点击下面的图片了解详细信息
                                                                               
           超声波清洗机等离子清洗机                  磁控溅射热蒸发       
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