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服务电话： 010-67529703
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带有贵金属镀金靶的紧凑型直流磁控溅射镀膜机

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  • 产品名称：带有贵金属镀金靶的紧凑型直流磁控溅射镀膜机
  • 产品型号：-VTC-16-D
  • 产品展商：MTI
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍

VTC-16-D是一种台式磁控等离子体溅射镀膜机 ，带有2英寸的靶头，高度可调的样品架。特别适合于涂覆SEM样品的导电金膜。它 是一种紧凑的等离子体溅射镀膜机，设计用于金属涂层，例如金，铂和银。包括一个2英寸金（4N）靶。

产品描述

VTC-16-D是一种台式磁控等离子体溅射镀膜机 ，带有2英寸的靶头，高度可调的样品架。特别适合于涂覆SEM样品的导电金膜。它  是一种紧凑的等离子体溅射镀膜机，设计用于金属涂层，例如金，铂和银。包括一个2英寸金（4N）靶。

规格书
特征
  • 专为涂覆SEM样品的导电金膜而设计
  • 紧凑型等离子溅射镀膜机，设计用于金，铂和银等金属涂层
  • 一个2"金（4N）目标被包括
           
输入电压 
  • 220伏交流50 / 60Hz，  200W
  • <1000 W（包括真空泵功率）
  • 使用1000 W变压器（15 A保险丝）可提供110VAC电源  。变压器另售 
输出电压
  • 500伏直流电
溅射电流
  • 0-50 mA（*大）可调溅射电流
  • 数字电流表（mA）
  • 过流保护
溅射时间
  • 1 -120秒可调
标本室

  • 石英玻璃管，外径165 mm。x 150毫米ID x 150毫米高度

  • 请点击这里订购石英箱更换

标本阶段
  • 直径2英寸
  • 高度可调，从样品到目标的距离为30-80 mm

喷头
  • 2“磁控溅射头
  • 一个手动操作的百叶窗用于目标保护
真空压力
  • 数字真空压力计（Pa）
  • KF25真空泵连接器
  • 机械泵的*限真空压力为1 Pa。泵不包括在内
真空泵（可选）
  • 建议使用双级旋片泵EQ-FYP。点击这里查看更多信息。
  • 可选：您可以使用涡轮泵通过涡轮泵获得1.0E-5 Torr真空（单击右下图）
输入气体
  • 安装了一个1/4 Swagelok型管接头，用于连接惰性气体钢瓶
  • 前面板中有一个计量阀，用于调节输入气体
目标
  • 一枚50mm直径 x 0.12毫米金  靶 已经包括了
  • 4N纯金箔：直径50毫米（2英寸）x 0.12毫米（随附并预安装在涂布机上） 
               
  • 提供可选的目标 （单击下面的按钮进行订购）
    • 金靶  （直径50毫米x 0.12毫米，4N纯度） 
    • 铂靶  （50毫米直径x 0.12毫米，4N纯度）  
    • 银靶  （直径50毫米x 0.5毫米，4N纯度） 
该型号适用于镀金，银和铂。由于能量低，不适用于涂覆轻金属材料，例如Al，Mg，Zn或Carbon目标。 请考虑使用我们的高功率DC / RF磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。
产品尺寸和重量
  • 460毫米（长）×330毫米（宽）×520毫米（高）
  • 20公斤
运输重量和尺寸
  • 80磅
  • 45英寸x 45英寸x 40英寸
操作说明      
合规
  • CE认证
  • NRTL认证不是暂时可用的。
保证
  • 一年有限，终身支持
应用须知  
    
  • 为了获得*佳的薄膜与基材的粘合强度，请在涂覆前清洁基材表面：
    • 使用以下连续浴进行超声波清洗（点击以下图片订购）-（1）丙酮，（2）异丙醇-去除油脂。用氮气吹干基材，然后在真空中热烘烤以除去吸收的水分
    • 表面粗糙化，表面化学键活化或其他污染物去除可能需要等离子清洁（单击下面的图片订购）
    • 可以使用诸如Cr，Ti，Mo，Ta之类的薄缓冲层（〜5 nm）来提高金属和合金的附着力
              超声波清洗机                       等离子清洗机
  • 为了**使用，应在气瓶上安装两级压力调节器（不包括），以将气体的输出压力限制在0.02 MPa以下。请使用> 5N纯度的Ar气体进行等离子溅射
  • 溅射涂布机不能放入Ar和N2气体手套箱中进行涂布
  • 请进行多次喷涂以增加涂层厚度，由于没有水冷，因此请在每次使用之间让机器冷却约数分钟
  • 高压！溅射头连接到高电压。为了**起见，操作人员必须在样品加载和目标改变操作之前关闭设备
  • 由于能量低，该模型不适用于涂覆轻金属材料，例如Al，Mg，Zn或Carbon目标。请考虑我们的高功率磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。（单击下面的图片以获取详细信息）
  • 大功率  磁控溅射                 热蒸发              
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