用于连续石墨烯或二维薄膜生长的卷对卷PE-CVD系统世联博研（北京）科技有限公司

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产品名称：用于连续石墨烯或二维薄膜生长的卷对卷PE-CVD系统
产品型号：OTF-1200X-II-PE-RR
产品展商：MTI
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简单介绍

OTF-1200X-II-PE-RR是实验室规模的卷对卷 PE-CVD （等离子增强化学气相沉积）管式炉系统，由300W RF等离子源，80mm OD的两个加热区分流管式炉（*高1200oC）组成，3通道MFC气体输送站，高品质的机械真空泵，两个带底盘收放的真空室以及触摸屏控制面板。

产品描述

OTF-1200X-II-PE-RR是实验室规模的卷对卷 PE-CVD （等离子增强化学气相沉积）管式炉系统，由300W RF等离子源，80mm OD的两个加热区分流管式炉（*高1200oC）组成，3通道MFC气体输送站，高品质的机械真空泵，两个带底盘收放的真空室以及触摸屏控制面板。R2R系统旨在探索为行业连续生长石墨烯或其他二维薄膜的灵活性。

规格：

两个加热区管式炉	两个加热区，分别为440毫米长的单个加热区和250毫米长的恒定温带区高1200 ^o C 工作温度<60分钟高1100 ^o C连续加热 30段可编程精度数字温度控制器，精度为+ /1ºC （ Eurotherm 3000温度控制器是可选的，精度为+/- 0.1ºC）高纯度石英管：80mm外径x 72mm内径x 1400毫米长度2.83“ ID x 55”长度输入功率：208 – 240V AC输入，*大单相。3千瓦可选三加热区炉
等离子射频电源	输出功率：5 -300W可调，具有±1％的稳定性射频： 13.56 MHz±0.005％稳定性匹配：自动射频输出端口：50Ω，N型，母头噪音：<50 dB。冷却：风冷。功率：208-240VAC，50 / 60Hz
R2R真空室	两个真空室位于炉子的两端，并与石英管连接进出基板的卷取辊位于真空室内基材的卷取速度可在1-400mm / min范围内调节高可移动基板：外径65 mm，外径80mm 随附一卷宽度为65毫米，厚度为0.025毫米（〜5千克）的铜箔，供客户使用。可根据要求提供100mm外径的管，该管大可喂入基材。宽度80毫米如有需要，可提供带速度控制器和不带炉的密封法兰的卷对卷机构。
三通道输气站	工作温度：5〜45ºC 高压力：3x10 ⁶Pa 精度：±1.5％FS 内胆：±（0.5-1.5）％FS 重复精度：±0.2％FS 控制范围：控制器1：0〜100 SCCM（氩气校准）控制器2：1〜199 SCCM（H2气体校准）控制器3：1〜499 SCCM（甲烷标定）点击左侧的图片获取详细说明警告：氢气和甲烷必须安装在熔炉附近，以警告气体泄漏。*
真空泵和阀门	底盘上装有两级排气系统的重型旋片式真空泵（7.8 CFM -240 L / m）。真空压力10 ^-2托。 KFD25适配器和不锈钢管通过球阀连接在泵和管法兰之间炉内装有数字真空压力表和显示器可提供无油泵，并可根据要求提供PID压力控制真空系统，但需要额外付费。
防腐压力表	3.8x10 ^-5 至1125托测量范围防腐蚀，气体类型独立大气中的高精度和可重复性，可实现可靠的大气压检测快速的大气检测消除了等待时间并缩短了处理周期易于更换的即插即用传感器元件点击图片查看详细规格
温度控制器	两个带有30个可编程段的温度控制器 +/- 1ºC温度精度。内置PID自动调节功能，具有过热和热电偶保护功能。过热保护和警报允许无人值守的操作。带有PC操作软件的RS485通讯端口。您可以使用免费软件以0.1ºC的精度将温度控制器升级到 Eurotherm控制器。
控制面板	7英寸触摸屏控制面板，可控制温度，气体流量，等离子功率可根据要求通过笔记本计算机进行远程控制，以提供PC控制软件（必须购买带有预装软件的笔记本计算机）
可选的	我们可以将炉子升级到5英寸的管子，并增加4英寸宽的薄膜）可根据要求提供用于卷对卷CVD系统的*大直径达8“ OD的管。
外形尺寸	2400长x 600宽x 1250高mm
保证	具有提升时间支持的一年有限保修（保修范围内不包括易耗部件，例如处理管，O形圈和加热元件，请在下面的相关产品处订购替换件。）
合规	CE认证 NRTL（UL61010）或CSA认证可额外付费。（请单击下面的标记以了解详细信息）
操作指令
警告单击此处了解气体调节器的安装	石英管设计用于在真空和<0.2 bar / 3 psi / 0.02 Mpa的低压下使用甲ttention：必须在气瓶安装的两级压力调节器，以限制压力低于3 PSI操作。单击此处了解气体调节器的安装。** MTI保留随时修改PECVD设计的权利，恕不另行通知，但承诺质量将达到上述规格
总运输重量	500公斤（1100磅），包括板条箱

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