世联博研(北京)科技有限公司
主营:Flexcell细胞力学和regenhu细胞3D生物打印机销售技术服务: 美国Flexcell品牌FX-5000T细胞牵张应力加载培养系统,FX-5K细胞显微牵张应力加载培养系统,Tissue Train三维细胞组织培养与测试系统,FX-5000C三维细胞组织压应力加载培养系统,STR-4000细胞流体剪切应力加载培养系统,德国cellastix品牌Optical Stretcher高通量单细胞牵引应变与分析系统 Regenhu品牌3D discovery细胞友好型3D生物打印机,piuma细胞纳米压痕测试分析、aresis多点力学测试光镊,MagneTherm细胞肿瘤电磁热疗测试分析系统
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Kalstein
BIOSYS
3D培养产品
基地硬度微图案培养
口腔材料设备
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旋转粉末ALD 4“管式炉系统(*高1200C)
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
旋转粉末ALD 4“管式炉系统(*高1200C)
产品型号:
ALD-1200X-R-4
产品展商:
MTI
产品文档:
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简单介绍
ALD-1200X-R-4是一种4英寸旋转管式炉,结合了两通道A LD 阀和一通道液汽输送(原子层沉积)以及四通道气体输送,从而通过。既ALD和CVD的智能设计,使ALD更具成本效益和负担得起的每一个研究小组。
产品描述
ALD-1200X-R-4是一种4英寸旋转管式炉,结合了两通道A
LD
阀和一通道液汽输送(原子层沉积)以及四通道气体输送,从而通过。既ALD和CVD的智能设计,使ALD更具成本效益和负担得起的每一个研究小组。
规格:
控制面板
蒸气,ALD和气体流量的所有参数都集成到一个移动推车中,并由PLC通过6英寸触摸屏进行控制:
两通道ALD阀
对于通道MFC气体输送
请点击下图查看控制界面
ALD阀
两个带脉冲控制器的ALD阀(持续时间至少10毫秒)
能够用热执行器加热
液体蒸气发生器
包括自动液体蒸气发生器,并连接到ALD阀
旋转炉
*高
1100ºC
,可连续加热
两个具有30个段的可编程精密数字温度控制器。
输入功率:208 – 240V AC输入,*大单相。
4千瓦
转速:0-10 RPM
4“石英管如下图
四个搅拌叶片
尺寸
防腐压力表
3.8x10
-5
至1125托测量范围
防腐蚀,气体类型独立
大气中的高精度和可重复性,可实现可靠的大气压检测
快速的大气检测消除了等待时间并缩短了处理周期
易于更换的即插即用传感器元件
点击图片查看详细规格。
真空泵
(可选)
加工管内部可达到
10E-2托
真空度
不包括真空泵,建议您点击以下图片订购用于CVD工艺的干式泵
更多起泡器
可选
单击下面的图片订购用于CVD的起泡器或蒸发器,单击右下方(1-2)
订购
恒压控制模块
(图右2)
可以增加
Quartz Crysta
l和
热电偶
来监控薄膜厚度和温度,但需要额外付费
保证
一年有限保修,提供终身支持
(保修范围内不包括易耗部件,例如处理管,O形圈和加热元件,请在下面的相关产品处订购更换件)。
合规
CE认证
NRTL或CSA认证可通过索取额外费用获得。
应用笔记
单击此处以了解如何
使用气体调节器
带石英管的管式炉设计用于真空和<
0.2 bar / 3 psi / 0.02 Mpa的
低压
甲
ttention
:必须在气瓶安装的两级压力调节器,以限制压力低于3 PSI**操作。
单击此处了解
气体调节器的安装
。
气体的流量应限制为<200 SCCM(或200 ml / min),以减少对管子的热冲击
所有石英管炉的真空*限定义:*真空压力只能在*高1000°C的温度下**使用
单击此处了解
如何为MTI管式炉设置石英/陶瓷管和真空法兰
。
应用
使用ALD可以显着降低石榴石电解质和电*材料之间的高固-固界面阻抗。
相关文章:
石榴石型固态锂金属电池的界面阻抗取反
操作说明
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