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服务电话: 010-67529703
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旋转粉末ALD 4“管式炉系统(*高1200C)

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  • 产品名称:旋转粉末ALD 4“管式炉系统(*高1200C)
  • 产品型号:ALD-1200X-R-4
  • 产品展商:MTI
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简单介绍

ALD-1200X-R-4是一种4英寸旋转管式炉,结合了两通道A LD 阀和一通道液汽输送(原子层沉积)以及四通道气体输送,从而通过。既ALD和CVD的智能设计,使ALD更具成本效益和负担得起的每一个研究小组。

产品描述
ALD-1200X-R-4是一种4英寸旋转管式炉,结合了两通道A LD  阀和一通道液汽输送(原子层沉积)以及四通道气体输送,从而通过。既ALD和CVD的智能设计,使ALD更具成本效益和负担得起的每一个研究小组。
规格:

控制面板
  • 蒸气,ALD和气体流量的所有参数都集成到一个移动推车中,并由PLC通过6英寸触摸屏进行控制: 
    • 两通道ALD阀
    • 对于通道MFC气体输送 
  • 请点击下图查看控制界面
  
ALD阀
  • 两个带脉冲控制器的ALD阀(持续时间至少10毫秒)
  • 能够用热执行器加热
液体蒸气发生器
  • 包括自动液体蒸气发生器,并连接到ALD阀
旋转炉

  • *高1100ºC,可连续加热
  • 两个具有30个段的可编程精密数字温度控制器。
  • 输入功率:208 – 240V AC输入,*大单相。4千瓦
  • 转速:0-10 RPM
  • 4“石英管如下图
            四个搅拌叶片                尺寸
防腐压力表

  • 3.8x10 -5  至1125托测量范围
  • 防腐蚀,气体类型独立 
  • 大气中的高精度和可重复性,可实现可靠的大气压检测
  • 快速的大气检测消除了等待时间并缩短了处理周期
  • 易于更换的即插即用传感器元件
  • 点击图片查看详细规格。
真空泵 
(可选)
  •  加工管内部可达到10E-2托真空度
  • 不包括真空泵,建议您点击以下图片订购用于CVD工艺的干式泵
  •       

更多起泡器
可选


                    
  • 单击下面的图片订购用于CVD的起泡器或蒸发器,单击右下方(1-2)  订购恒压控制模块(图右2)
  • 可以增加  Quartz Crysta l和热电偶  来监控薄膜厚度和温度,但需要额外付费
                       
保证
一年有限保修,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如处理管,O形圈和加热元件,请在下面的相关产品处订购更换件)。
合规
    
  • CE认证
  • NRTL或CSA认证可通过索取额外费用获得。 

应用笔记单击此处以了解如何 使用气体调节器

  • 带石英管的管式炉设计用于真空和< 0.2 bar / 3 psi / 0.02 Mpa的低压 
  • ttention:必须在气瓶安装的两级压力调节器,以限制压力低于3 PSI**操作。 单击此处了解 气体调节器的安装
  • 气体的流量应限制为<200 SCCM(或200 ml / min),以减少对管子的热冲击
  • 所有石英管炉的真空*限定义:*真空压力只能在*高1000°C的温度下**使用
  • 单击此处了解如何为MTI管式炉设置石英/陶瓷管和真空法兰
应用
  • 使用ALD可以显着降低石榴石电解质和电*材料之间的高固-固界面阻抗。相关文章:   石榴石型固态锂金属电池的界面阻抗取反
操作说明
     
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